Mask Hall의 크기 및  간격 검사

 


검사항목

1. 수직,수평 직경

2.  Hall간 거리

3.  원의 정도

 


고배율로 확대하여 촬상한

화상으로 초점을 맞추기

위한 Auto Focusing 기능

이 필요하며 임의의 중심

홀을 기준으로하여 계측

하였다